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Projektbeispiel

Optische Präzisionsfilter

Präzisions-Sputter-Beschichtungssystem für interferenzoptische Anwendungen.

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Applikation

Viele moderne Messmethoden basieren ebenso wie weite Teile der Telekommunikation auf optischen Verfahren.

Optische Filter müssen dabei vom Lichtstrahl einzelne Wellenlängen entfernen (Kerbfilter), nur definierte Wellenlängen durchlassen (Bandpassfilter) oder ab einer bestimmten Wellenlänge von Reflexion auf Transmission wechseln (Kantenfilter).

Als optische Filter dienen interferenzoptische Stapel dünner, dielektrischer Schichten, die abwechselnd hoch- und niedrigbrechenden sind.

Anforderungen an die Anlage

Mit der Anlage sollen optische Filter auf flachen Substraten mit bis zu 200 mm Durchmesser produziert werden. Als Präzisionsfilter sollen sie ein besonders reproduzierbares Transmissionsspektrum mit besonders steilen Kanten und besonders geringer Streuung aufweisen.

Das heißt technologisch: Es müssen Stapel aus 50, 100 oder mehr Schichten abgeschieden werden, wobei die Dicken jeder einzelnen Schicht genau einzuhalten und über das gesamte Substrat mit einer Abweichung von weniger als +/- ​1% abzuscheiden sind.

Optisch relevante Partikel sind dabei zu vermeiden und natürlich muss die Anlage voll automatisiert Rezepte bearbeiten und einen hohen Durchsatz bringen.

Lösung der Anforderung

Die FHR.Star.500-EOSS® ist eine Weiterentwicklung des gemeinsam mit dem Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik entwickelten Enhanced Optical Sputtering System (EOSS®).

Sie ist das fortschrittlichste Produkt, das derzeit auf dem Markt zur Herstellung interferenzoptischer Filter verfügbar ist.

Die Besonderheiten FHR.STAR.500-EOSS®

  1. Herausragende Reproduzierbarkeit
  2. Höchste Partikelarmut durch Sputter-Up-Verfahren
  3. Optimales Schichtwachstum durch bipolar angesteuerte Doppelquellen
  4. Höchste Materialausnutzung und längste Target-Standzeiten durch Verwendung von Rohrkathoden
  5. Beste Schichtqualität durch Breitbandmonitoring und In-situ-Fehlerkompensationmittels MOCCA+®
  6. Eine kompromisslos auf Produktionsprozesse ausgelegte Konstruktion
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