Vakuumbeschichtungsanlagen
Sie suchen die optimale Vakuumbeschichtungslösung für Ihr Produkt oder Ihre Forschungsaufgabe? Mit unseren Anlagen treffen Sie die perfekte Wahl.
FHR.Boxx
Boxcoater-anlagen
Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion an. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer.
FHR.Line
Inline-Anlagen
Inline-Konzepte sind die richtige Antwort für hoch-produktives Magnetron-Sputtern, thermisches Bedampfen oder PECVD-Beschichten jeglicher flächiger Substrate. Wir bieten individuell auf Ihre Substratgröße zugeschnittene Inline-Vakuumbeschichtungs-lösungen mit horizontaler oder vertikaler Substratlage.
FHR.Roll
Rolle-zu-Rolle-Anlagen
Moderne Elektronik ist biegsam. Für die Herstellung flexibler Solarzellen, organischer Displayfolien oder biegsamer Sensoren beispielsweise bieten wir mit unseren Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und PECVD-Technologie das passende Anlagenkonzept.
FHR.Boxx
Boxcoater-anlagen
Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion an. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer.
FHR.Boxx
Boxcoater-anlagen
Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion an. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer.
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FHR.Boxx
Boxcoater-anlagen
Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion an. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer.